日立2020年2月初已經(jīng)面向全球發(fā)布了毛細管系列FT160鍍層測厚儀，以下就簡單介紹這款產(chǎn)品的特點及規(guī)格：

一、新型FT160系列鍍層測厚儀特點：

1、高強度X射線--儀器的核心所在是全新的毛細管聚焦光學系統(tǒng)，其生產(chǎn)的30um光束用于測量微小的半導體圖案和超小型原件；

2、高靈敏度的SDD檢測器--這一高性能確保實施可重復測量以提高生產(chǎn)力；

3、大型樣品倉門--便于操作員裝載和卸載線路板，晶片和組件，以便FT160容納各種形狀的不見；

4、高清攝像機和多模式照明--樣品觀測攝像機的分辨率--16倍數(shù)碼變焦--結合改進的照明，使半導體表面清晰銳利，便于定位；

5、易于使用的控制器軟件--只需在屏幕上選擇電鍍和測量點，然后運行分析。

6、測定含有從鋁（13）到鈾（92）；

7、這款儀器較FT150主要升級了照明系統(tǒng)、相機，更加清晰，同時增加小臺面機型。

二、新型FT160系列鍍層測厚儀規(guī)格：

我們提供針對不同部件的三種樣品倉：

1、FT160--靈活標準配置測量組件和板930mm（寬）*900mm（深）*710mm（高）；

2、FT160S--小型部件占地面積小，性能與大型配置相同690mm（寬）*900mm（深）*710mm（高）；

3、FT160L--適用于600*600mm以下線路板的較大樣品臺1030mm（寬）*1260mm（深）*710mm（高）。

并且可以選擇鎢（W）或鉬（MO）X射線管陽極以優(yōu)化應用性能。